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Anorganische Chemie Anorganik ist mehr als nur Salze; hier gibt es Antworten auf Fragen rund um die "unbelebte Chemie" der Elemente und ihrer Verbindungen.

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Alt 12.08.2014, 15:59   #1   Druckbare Version zeigen
Lars_MT  
Mitglied
Themenersteller
Beiträge: 4
Gold ätzen mit Nickel als Passivierung

Schönen guten Tag.

Ich habe folgendes Problem:
Auf einem Si-Wafer wurde Chrom und anschließend Gold abgeschieden.
Anschließend wurde selektiv galvanisch Nickel abgeschieden.
Nun muss das Gold und anschließend das Chrom wieder runter vom Wafer ohne dabei das Nickel anzugreifen.

Problemansätze:
- Trockenätzen: geht leider im Moment nicht
- mit Königswasser: das greift auch das Nickel an (wurde schon ausprobiert )

Über Tipps würde ich mich sehr freuen

Beste Grüße


ps.: nasschemisch wäre mir am liebsten...
Lars_MT ist offline   Mit Zitat antworten
Alt 12.08.2014, 23:26   #2   Druckbare Version zeigen
ehemaliges Mitglied  
nicht mehr Mitglied
Beiträge: n/a
AW: Gold ätzen mit Nickel als Passivierung

Zitat:
Zitat von Lars_MT Beitrag anzeigen
Auf einem Si-Wafer wurde Chrom und anschließend Gold abgeschieden. Anschließend wurde selektiv galvanisch Nickel abgeschieden. Nun muss das Gold und anschließend das Chrom wieder runter vom Wafer ohne dabei das Nickel anzugreifen.
Gold bekommst du mit Alkalicyanid und Wasserstoffperoxid gelöst. Den Link hab ich spendiert, damit der Mod. was zu löschen hat und obendrein, um den Zwarten Piet im OO zu ärgern. Hoffe, das war dennoch politisch korrekt.

In ähnlicher weise wirst du das Chrom wegbekommen, du musst nur alkalischer arbeiten.


Zitat:
Zitat von Lars_MT Beitrag anzeigen
ps.: nasschemisch wäre mir am liebsten...


Schmirgelpapier scheint wohl nicht zu gehen?


mfg
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Alt 12.08.2014, 23:50   #3   Druckbare Version zeigen
rettich Männlich
Mitglied
Beiträge: 5.694
AW: Gold ätzen mit Nickel als Passivierung

Wenn es um sehr kleine Strukturen geht hast Du das Problem Unterätzungen zu vermeiden.
Da hilft nur Geld, Geduld und probieren.
mfg : rettich
__________________
mfg: rettich

Man kann gar nicht so dämlich denken wie
andere Handeln.
Speziell im Strassenverkehr und im Labor.

Heute ist der erste Tag vom Rest deines Lebens.
rettich ist offline   Mit Zitat antworten
Alt 13.08.2014, 13:18   #4   Druckbare Version zeigen
Lars_MT  
Mitglied
Themenersteller
Beiträge: 4
AW: Gold ätzen mit Nickel als Passivierung

Karl Akku danke für deine schnelle Antwort.

Ich bin mit aber nicht sicher ob das Alkalicyanid auch das Nickel angreift.
Hättest du vielleicht Literatur für mich ?

Beste Dank

ps.: Strukturgrößen um die 50µm , demzufolge leider nichts mit schnirkelpapier )
Lars_MT ist offline   Mit Zitat antworten
Alt 14.08.2014, 08:45   #5   Druckbare Version zeigen
ehemaliges Mitglied  
nicht mehr Mitglied
Beiträge: n/a
AW: Gold ätzen mit Nickel als Passivierung

Zitat:
Zitat von Lars_MT Beitrag anzeigen
Ich bin mit aber nicht sicher ob das Alkalicyanid auch das Nickel angreift.
Ich kann ebenfalls nur raten, das umfangreich auszuprobieren. Elektrochemisches Ablösen in Gegenwart von Komplexbildnern ist auch eine Möglichkeit.
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ätzen, galvanik, gold, nickel

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